光刻机概念活跃，高“设备”含量的科创半导体ETF（588170）规模创新高，达6.33亿元， ...

截至2025年9月17日 10点17分，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨2.51%，成分股中巨芯上涨20.00%，中芯国际上涨7.03%，新益昌上涨4.48%，安集科技，华峰测控等个股跟涨。科创半导体ETF（588170）上涨2.64%， 冲击6连涨。最新价报1.24元。拉长时间看，截至2025年9月16日，科创半导体ETF（588170）近1周累计上涨5.58%。流动性方面，科创半导体ETF（588170）盘中换手19.91%，成交1.28亿元，市场交投活跃。规模方面，科创半导体ETF（588170）最新规模达6.33亿元，创成立以来新高。份额方面，科创半导体ETF（588170）近2周份额增长7000.00万份，实现显著增长。资金流入方面，科创半导体ETF（588170）最新资金流入流出持平。拉长时间看，近10个交易日内有7日资金净流入，合计“吸金”9585.64万元，日均净流入达958.56万元。

消息面上，早盘光刻机概念活跃带动半导体设备板块走强，波长光电、永新光学双双涨停，苏大维格、茂莱光学等个股涨幅超5%，市场对半导体设备国产化替代预期升温，与科创半导体ETF（588170）重仓的安集科技、拓荆科技等半导体材料设备个股形成联动效应。

招商证券则强调海内外AI算力芯片高景气延续，存储等板块边际复苏趋势向上，国内算力芯片公司业绩持续释放，寒武纪定增获批、海光推进收并购，同时2026年国内偏先进产线扩产有望提速，将带动设备板块订单预期及国产化替代进程。两家机构均聚焦半导体产业链国产化与景气复苏主线，与目标产品投资范围高度相关。

相关ETF：公开信息显示，科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（59%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。