截至 2025 年 9 月 23 日 13 点 22 分，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨 0.40%，成分股沪硅产业上涨 8.96%，华峰测控上涨 5.22%，有研硅上涨 4.41%，上海合晶上涨 2.34%，华海清科上涨 2.04%。科创半导体 ETF（588170） 上涨 0.38%，最新价报 1.31 元。流动性方面，科创半导体 ETF（588170） 盘中换手 17.95%，成交 1.92 亿元，市场交投活跃。规模方面，科创半导体 ETF（588170） 最新规模达 10.59 亿元，创成立以来新高。份额方面，科创半导体 ETF（588170） 最新份额达 8.11 亿份，创成立以来新高。从资金净流入方面来看，科创半导体 ETF（588170） 近 4 天获得连续资金净流入，最高单日获得 1.36 亿元净流入，合计 「吸金」3.69 亿元，日均净流入达 9228.04 万元。
