上海芯上微第 500 台国产光刻机交付，科创半导体 ETF（588170） 盘中领涨同类，持仓股中船特气涨停

截至 2025 年 8 月 13 日 11 点 10，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨 1.71%，成分股中船特气涨停，上海合晶上涨 14.26%，金宏气体上涨 5.71%，天岳先进，中巨芯等个股跟涨。科创半导体 ETF（588170） 上涨 1.59%， 冲击 3 连涨。最新价报 1.09 元。拉长时间看，截至 2025 年 8 月 12 日，科创半导体 ETF（588170） 近 1 月累计上涨 4.09%，涨幅排名领先同类基金。流动性方面，科创半导体 ETF（588170） 盘中换手 11.72%，成交 5123.72 万元，市场交投活跃。