截至 8 月 27 日 11:27，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨 3.02%，成分股华峰测控上涨 6.56%，中科飞测上涨 5.84%，中芯国际上涨 5.07%，安集科技，华海诚科等个股跟涨。科创半导体 ETF（588170） 上涨 3.28%，最新价报 1.26 元。拉长时间看，截至 2025 年 8 月 26 日，科创半导体 ETF 近 1 周累计上涨 10.42%。
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